作道 訓之


客員教授・工学博士

作道 訓之

SAKUDO Noriyuki
最終更新日 2023/10/06

■略歴
東京大学工学部電子工学科卒。同大学大学院電子工学専攻博士課程修了。(株)日立製作所入社、中央研究所第4部主任研究員(通産省大プロ参加)、日立研究所技術主幹兼システム第4部レーザ・イオン源研究室室長を経て、1994〜2017年本学教授。その間本学で出願した特許をもとに、1998〜2001年には北陸地区初のNEDO地域コンソーシアム技術開発事業に参加。2008〜2013年文科省クラスター研究参加。2018年本学客員教授就任。

■専門分野
専門:プラズマ工学(イオンやプラズマを応用した装置およびプロセスの開発研究)。半導体製造装置技術。マイクロマシーン、医療用デバイスやプラズマ滅菌技術の開発など。
論文・著書:「四重極電界の解析と応用」(学位論文)、著書に「The physics and Technology of Ion Sources(共著)」および「過渡現象の基礎(共著)」など。
受賞:半導体微細加工の基本技術の発明で1991年度全国発明表彰-恩賜賞を皇室から授与された。機械振興協会賞(1979)、米国IR-100賞(2回)、関東地方発明表彰-科学技術庁長官賞(1990)など。
その他専門情報:学術振興会132委員会委員(1995-2022)。現在、応用物理学会ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会委員。

■研究業績
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