概要

高性能で信頼性の高いシステム・電子機器などを実現するためには、そのキーデバイスである化合物半導体光デバイス、電子デバイスおよびSi-LSIの長期信頼性の確保が不可欠である。

本特殊研究では、これらのデバイスの長期信頼性確保を目標とし、そのために必要となるデバイス用薄膜材料の高品質化・最適設計化、信頼性評価技術の開発、デバイスの劣化（故障）部の評価・解析、メカニズム解明、および劣化（故障）の低減策の提案・実証などに関して具体的な研究課題を設定し、デバイス信頼性評価・解析および高品質薄膜材料開発に関する高度な専門的能力と広い見識を有する高度専門技術者を養成する。

教授プロフィール

教授・工学博士

東京大学工学部物理工学科卒。1974年、富士通研究所に入社。同所半導体結晶研究部主任研究員、化合物LSI研究部主任研究員、基盤技術研究所主幹研究員、材料技術研究所主管研究員、材料・環境技術研究所ナノ電子材料研究部長、環境材料ステーション長、主任研究員。1984〜1986年、米国MIT材料化学工学科客員研究員。1991年〜1992年、北海道大学量子界面エレクトロニクス研究センター客員助教授。2001年〜2002年、九州大学先端科学技術共同研究センター客員教授。1998年本学連携大学院客員教授を経て、2005年本学教授就任。