作道 訓之


教授・工学博士,工学博士

作道 訓之

SAKUDOU, NORIYUKI
最終更新日 2017/04/19

愛媛県愛光学園高校出身

■略歴
東京大学工学部電子工学科卒。同大学大学院電子工学専攻博士課程修了。(株)日立製作所入社、中央研究所第4部主任研究員(通産省大プロ参加)、日立研究所技術主幹兼システム第4部レーザ・イオン源研究室室長を経て、1994年本学教授就任。その後本学で出願した特許をもとに、1998〜2001年には北陸地区初のNEDO地域コンソーシアム技術開発事業に参加。2008〜2013年の間、文科省クラスター研究参加。

■専門分野
専門:プラズマ工学(イオンやプラズマを応用した装置およびプロセスの開発研究)。半導体製造装置技術。マイクロマシーン、医療用デバイスやプラズマ滅菌技術の開発など。
論文・著書:「四重極電界の解析と応用」(学位論文)、著書に「The physics and Technology of Ion Sources(共著)」および「過渡現象の基礎(共著)」など。
受賞:半導体微細加工の基本技術の発明で1991年度全国発明表彰-恩賜賞を皇室から授与された。機械振興協会賞(1979)、米国IR-100賞(2回)、関東地方発明表彰-科学技術庁長官賞(1990)など。
その他専門情報: 現在、学術振興会132委員会委員。

■横顔
雪も氷も珍しい南国伊予で生まれ育ったにもかかわらず、スキー・スケートを趣味とする。また、興味を持つと何でも試して見たくなるタイプで、前任地の日立市でアイスホッケークラブに所属し活躍したスポーツ好き。現在、金沢工大アイスホッケー部顧問。

■趣味
水泳・スケート・スキー。10数年前から自宅近くの温水プールで毎晩約2kmをゆっくり泳いでいます。9年前からは、泳いだ距離を毎日記録していますが、昨年(2016年)は1年間で530kmを泳ぎました。9年間の合計は4840kmになりました。

■近況
1年前から学生の直接指導はなくなりましたが、休学などにより終了が遅れている社会人博士課程学生の研究に係っています。いまも私自身の研究活動も続けており、毎年国際会議での論文発表をしています。