作道 訓之


客員教授・工学博士

作道 訓之

SAKUDO Noriyuki
最終更新日 2021/09/21

愛媛県愛光学園高校出身

■略歴
東京大学工学部電子工学科卒。同大学大学院電子工学専攻博士課程修了。(株)日立製作所入社、中央研究所第4部主任研究員(通産省大プロ参加)、日立研究所技術主幹兼システム第4部レーザ・イオン源研究室室長を経て、1994〜2017年本学教授。その間本学で出願した特許をもとに、1998〜2001年には北陸地区初のNEDO地域コンソーシアム技術開発事業に参加。2008〜2013年文科省クラスター研究参加。2018年本学客員教授就任。

■専門分野
専門:プラズマ工学(イオンやプラズマを応用した装置およびプロセスの開発研究)。半導体製造装置技術。マイクロマシーン、医療用デバイスやプラズマ滅菌技術の開発など。

■研究業績
業績ページへ